- · E/R : 400~500A/min(at 30 ℃ )
- · Under-cut : 1um 以下(150% over etch)
- · Materials : Al, Cu damage free
- 半导体蚀刻液

- TiW 蚀刻液
- 配件清洗(Non-metal)

- Sealant 清洗液
- · Application : LCD 工程 syringe / bracket / nozzle
- 提高对Acetone的清洗力
- · Materials : SUS, PE, PP, PTFE damage free
- 配件清洗(Metal)

- AI/Plasma burn 清洗
- · Application : 半导体 ceramic parts
- · Materials : SUS,Ceramic, PVC, PE, PP, PTFE damage free
- Solder remover

- Solder remover_wafer
- · E/R : 12~15um/min(at 40℃)
- Solder remover_DRAM
- · E/R : 5~7um/min(at 25℃)
- · IMC damage free(Cu保护)
- Invar Mask Total solution
分配 | 目的 | 药名 | 笔记 |
Mask生产 | Sliming&Patterning | CS-313IA | |
Laser Pattern Cleaning | CS-302MC, CS-303MC | ||
PR Cleaning | CS-550 | ||
有机气相沉积&初步清洁 | 有机气相沉积&荧光残留物 | NMP&CS-700T | |
工艺油和电解清洗 | CS-701AC | ||
无机沉积膜 | 武器清洗(AgMg) | CS-100SE | |
武器清洗(LiF) | CS-701AC |

按流程 MASK 生产
- · Sliming & Patterning
CS-313A - · Laser Pattern Cleaning
CS-302MC, 303MC - · PR Cleaning
CS-550

2. 无机沉积膜按工艺 & 初步清洁
- ·有机气相沉积 & 荧光残留物
NMP & CS-700T - · 工艺油和电解清洗
CS-701AC

3. 无机沉积膜清洗
- · 武器清洗(AgMg)
CS-100SE - · 武器清洗(LiF)
CS-701AC