- · E/R : 400~500A/min(at 30 ℃ )
- · Under-cut : 1um 이하(150% over etch)
- · Materials : Al, Cu damage free
- 반도체 식각액
- TiW 식각액
- 부품세정(Non-metal)
- Sealant 세정
- · Application : LCD 공정 syringe / bracket / nozzle
- · Acetone 대비 세정력 향상
- · Materials : SUS, PE, PP, PTFE damage free
- 부품세정(Metal)
- AI/Plasma burn 세정
- · Application : 반도체 ceramic parts
- · Materials : SUS,Ceramic, PVC, PE, PP, PTFE damage free
- Solder remover
- Solder remover_wafer용
- · E/R : 12~15um/min(at 40℃)
- Solder remover_DRAM용
- · E/R : 5~7um/min(at 25℃)
- · IMC damage free(하지 Cu 보호)
- Invar Mask Total solution
구분 | 용도 | 약품명 | 비고 |
Mask제작 | Sliming&Patterning | CS-313IA | |
Laser Pattern Cleaning | CS-302MC, CS-303MC | ||
PR Cleaning | CS-550 | ||
유기증착막&초기세정 | 유기증착막&형광잔유물 | NMP&CS-700T | |
가공유 및 전해세정 | CS-701AC | ||
무기증착막 | 무기세정(AgMg) | CS-100SE | |
무기세정(LiF) | CS-701AC |
공정별 MASK 제작
- · Sliming & Patterning
CS-313A - · Laser Pattern Cleaning
CS-302MC, 303MC - · PR Cleaning
CS-550
2. 공정별 유기 증착막 & 초기세정
- · 유기증착막 & 형광잔유물
NMP & CS-700T - · 가공유 및 전해세정
CS-701AC
3. 무기 증착막 세정
- · 무기세정(AgMg)
CS-100SE - · 무기세정(LiF)
CS-701AC