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    DUAL CONTAINMENT TUBE
  • Features
  • · 약액별 배관 색상 시공으로 위험요인 최소화 & 눈 관리 효과
  • · 장거리 시공으로 Leak Point 최소화
  • · 일체형 시공으로 작업 편리성 & 시공비 30% Down
  • · 우수한 마모 및 마모저항
  • · 사용온도 최대 5000℉ (260℃)
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    EP COIL TUBE
  • Maker Introduce

Maker

Introduce

  • 특수배관 부품 및 서비스를 제공
  • ISO 기준 Class-10 클린룸에서 세정, 테스트, 포장을 진행
  • EP-Coil Tube Evaluation Data

Particle test #1 – 180º Bending → Straight restoration

※ 10Min(분) 이후 Particle 미검출 확인 (사람에 대한 오류도 10분내에 해결)

Particle test #2 – Roller Use Straight Bending

  • How to install EP-TUBE (COil : Stick) #1

ⓐ Coil Tube 시공 (개선안)

ⓑ Stick Tube (기존)

  • How to install EP-TUBE (COil : Stick) #2
  • Why use EP-Coil Tube?

SUS 배관용접

  • – 고온의 열로 용접봉을 용융시켜 배관-배관 연결의 방법
  • – 용접봉 성분표

Global 기업 EP-Coil 적용

  • – TSMC, Intel, Micron 등 2016년부터 신규 라인 적용

EP-Coil Tube 적용

  • – 용접 개소 감소 = Weak point 감소 → Metal 용출 point 감소
  • – 400M 작업 시 용접 개소
  • 직관기
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    FFKM 불소 O-RING
  • Solrez’s selection guide for process
Process Compound Number Service temp(oC) Color Equivalent Compound
Metal CVD Process
LP-CVD
Oxidation
Diffusion
Lamp Anneal
RTP
Ash
ALD		 8318 320 Light yellow 4079,8900
7075UP,653
8107 320 Black 4079,8900
7075UP,653
9578 300 Light yellow 9100, 9300M
XRZ
9575 300 White 8475, 8575
9568 280 Light yellow 8002
9566 280 White E-38
Wet Etching
Photo litho-graypy
Stripping
Copper plating		 9308 250 Light yellow 8002.93
9307 250 Black 6375UP
7709 230 Amver translucent Amor crystal
7708 230 Light yellow Ultic Armor
6907 220 Black -
6607 250 Black Fluoraz888
5901 200 Blue -
  • Solrez’s Compound selection guide
Compound number Service temp(oC) Color Equlvalent Compound Recommend Processing
8318 320 Light yellow 4079,8900,7075UP,653 Oxidation diffusion(02,N2,CI2)
Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
8107 320 Black 4079,8900,7075UP,653 Oxidation diffusion(02,N2,CI2)
Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
9578 300 Light yellow 9100,9300,XRZ PECVD/ALD/HDPCVD
(TMS,SiH4,NH3,NF3,SiF4)
9575 300 White 8475,8575 Infrared light
9568 280 Light yellow 8002 Ash(2,CF4,NH3,CHF3),Dry etch
9566 280 White E-38 Ash(2,CF4,NH3,CHF3),Dry etch
9308 280 Light yellow 8002,9300 Wet etch,strip,copper plating
(HN03,HF,H3PO4,H202,CuSO4)
9307 250 Black 6375UP
7709 230 Amber translucent Amor crystal All CVD,Dry etch and plasma ashing
equipment For semiconductor and LCD
7708 230 Light yellow Ultic Armor
6907 220 Black - Excellent solvent resistance(FKM)
6607 250 Black Fluoraz888 Wet etch
5901 220 Blue - O2,O3 Plasma
  • High temperature FFKM special O-ring
  • Grade: Solrez8318
  • Material: FFKM
  • Service temp: 320℃
  • Color: light yellow
  • Hardness: 75(shore A)
  • Tensile strength: 14.2MPa
  • Elongation: 210%
  • Compression set: 18%(270℃ x 72hrs)
  • Application:
    – Oxidation diffusion(O2,N2,CI2)
    – Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)
  • Grade: Solrez8107
  • Material: FFKM
  • Service temp: 320℃
  • Color: Black/li>
  • Hardness: 75(shore A)
  • Tensile strength: 12.2MPa
  • Elongation: 180%
  • Compression set: 18%(200℃ x 72hrs)
  • Application:
    – Oxidation diffusion(O2,N2,CI2)
    – Metal CVD(NF3,SiH4,F2,CI2)

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